文档名：曲面结构上薄膜热流传感器的动态校准研究
摘要：搭建了以高功率半导体激光器作为热流源的动态测试系统,响应时间为3.5μs,热流上限为50MW/m2,可以产生阶跃、脉冲、变频正弦等动态激励信号.分别使用脉冲激励法和变频正弦激励法对传感器进行时域和频域的动态校准.时域上以脉冲信号作为激励信号,使用负阶跃测试法测量时间常数,用响应速率比表征热流传感器的动态响应特性;频域上以变频正弦信号作为激励信号,通过快速傅里叶变换绘制出频率特性曲线,得到传感器的频率响应为18.4Hz.并对两种动态校准结果进行了分析.
作者：原敬彬 王高 薛红新 李志玲 刘云东 黄漫国 Author：YUANJingbin WANGGao XUEHongxin LIZhiling LIUYundong HUANGManguo
作者单位：中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室,山西太原030051中北大学计算机科学与技术学院,山西太原030051航空工业北京长城航空测控技术研究所,北京101111
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(11)
分类号：TP212TH89V19
关键词：薄膜热流传感器 动态测试系统 时间常数 频率响应
Keywords：thinfilmheatflowsensor dynamictestsystem timeconstant frequencyresponse
机标分类号：TP212.11V211.751TJ610.6
在线出版日期：2023年12月4日
基金项目：国家自然科学基金，山西省基础研究计划资助项目曲面结构上薄膜热流传感器的动态校准研究[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(11)原敬彬 王高 薛红新 李志玲 刘云东 黄漫国搭建了以高功率半导体激光器作为热流源的动态测试系统,响应时间为3.5μs,热流上限为50MW/m2,可以产生阶跃、脉冲、变频正弦等动态激励信号.分别使用脉冲激励法和变频正弦激励法对传感器进行时域和频域的动态校准.时域上以...参考文献和引证文献
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