文档名：框架结构对薄膜体声波谐振器性能提升的研究
摘要：本文研究了框架结构(Frame)对薄膜体声波谐振器(FilmBulkAcousticResonator,FBAR)提升性能的作用,从两种Frame结构对体声波能量的反射匹配基础理论出发,针对其功能特点,以实验的方式确定了低频和高频多组框架微结构的组合,对多组FBAR进行了版图绘制以及光刻流片,最终通过片上测试得到了所有分组的谐振器性能.对测试得到的性能进行了分组统计筛选,从测试结果来看,经过优选之后的Frame结构分组无论是对低频还是高频FBAR谐振器都具有提升性能的作用.对低频(1.7GHz附近)FBAR来说,并联谐振品质因数可以提升1000以上.对高频(5.5GHz附近)FBAR来说,并联谐振品质因数可以提升300以上.对横向寄生模式较强的高频FBAR,优选的Frame结构可以提升谐振器的横向寄生模式抑制,使串联谐振频率之下的阻抗相位波动减少5°以上.
Abstract：Theeffectofframeontheperformanceimprovementofthinfilmbulkacousticresonator(FBAR)isstud-ied.Basedonthebasictheoryofreflectionandmatchingoftwokindsofframestructurestokeepacousticenergy,accord-ingtotheirfunctionalcharacteristics,severalgroupsofframemicrostructurecombinationsoflowfrequencyandhighfre-quencyaredeterminedexperimentally,andthetwogroupsofFBARaretapedout.Finally,theresonatorofallgroupsisob-tainedbyon-wafertest.Theselectedframestructuregroupcanimprovetheperformanceofbothlow-frequencyandhigh-frequencyFBAR.Forlowfrequency(around1.7GHz)FBAR,thequalityfactorofparallelresonancecanbeincreasedbymorethan1000.Forhighfrequency(around5.5GHz)FBAR,thequalityfactorofparallelresonancecanbeincreasedbymorethan300.ForthehighfrequencyFBARwithstrongtransverseparasiticmode,theoptimizedframestructurecanim-provethetransverseparasiticsuppressionandreducetheimpedancephasefluctuationundertheseriesresonantfrequencybymorethan5°.
作者：吴永乐 吴昊鹏 赖志国 蔡洵 唐滨 杨清华 杨雨豪 王卫民 Author：WUYong-le WUHao-peng LAIZhi-guo CAIXun TANGBin YANGQing-hua YANGYu-hao WANGWei-min
作者单位：北京邮电大学集成电路学院,北京100876北京邮电大学电子工程学院,北京100876苏州汉天下电子有限公司,江苏苏州215000北京邮电大学电子工程学院,北京100876;苏州汉天下电子有限公司,江苏苏州215000
刊名：电子学报
Journal：ActaElectronicaSinica
年，卷(期)：2024, 52(2)
分类号：TN385
关键词：薄膜体声波谐振器 框架结构 流片实验 阻抗相位波动
Keywords：filmbulkacousticresonator framestructure tapingoutexperiment impedancephasefluctuation
机标分类号：O421+.2TB535TN751.24
在线出版日期：2024年4月19日
基金项目：框架结构对薄膜体声波谐振器性能提升的研究[
期刊论文] 电子学报--2024, 52(2)吴永乐 吴昊鹏 赖志国 蔡洵 唐滨 杨清华 杨雨豪 王卫民本文研究了框架结构(Frame)对薄膜体声波谐振器(FilmBulkAcousticResonator,FBAR)提升性能的作用,从两种Frame结构对体声波能量的反射匹配基础理论出发,针对其功能特点,以实验的方式确定了低频和高频多组框架微结构的...参考文献和引证文献
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