文档名：三端梁结构MEMS红外光源设计与仿真研究
摘要：设计并研究了一种三端梁结构的微机电系统(MEMS)红外光源,用于非色散红外吸收光谱气体传感器.MEMS红外光源以硅(Si)为基底,铂/钛(Pt/Ti)层为加热单元和传感单元,采用圆环状电阻结构实现了低功耗和良好的温度均匀性.光源采用三梁固支悬浮薄膜结构,有效地降低了辐射区热量向基底的传导.红外光源采用预释放的工艺方法,解决了Si基释放不完全导致的热传导过大的问题.在玻璃衬底淀积铜作为反射层,并与Si结构层进行阳极键合,使红外光有效地向正面发射并通过悬膜射出,提高红外光利用率.设计的MEMS红外光源结构简单,具有良好的可靠性,易于规模化制造.
作者：李海生 许高斌 冯建国 马渊明Author：LIHaisheng XUGaobin FENGJianguo MAYuanming
作者单位：合肥工业大学微电子学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心,安徽合肥230009
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(4)
分类号：TP212
关键词：微机电系统 红外光源 三端梁结构 金属反射层
机标分类号：TP216TH122TP391.9
在线出版日期：2023年5月9日
基金项目：三端梁结构MEMS红外光源设计与仿真研究[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(4)李海生 许高斌 冯建国 马渊明设计并研究了一种三端梁结构的微机电系统(MEMS)红外光源,用于非色散红外吸收光谱气体传感器.MEMS红外光源以硅(Si)为基底,铂/钛(Pt/Ti)层为加热单元和传感单元,采用圆环状电阻结构实现了低功耗和良好的温度均匀性.光源...参考文献和引证文献
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