文档名：扫描电镜中透射反射式STEM明场成像装置的研制及应用
摘要：本文研制了一套透射-反射式扫描透射(STEM)明场成像装置,该装置使用背散射电子探头接收经过铂片反射的透射电子信号,可安装在FEIQuantaFEG系列扫描电镜中实现STEM明场成像.分别以埃洛石、Au@ZIF-8纳米颗粒和喷金乳胶标样验证自制STEM明场成像装置的实用性.结果表明:埃洛石STEM明场像的衬度与透射电镜中STEM明场像一致,管腔和管壁具有明显的衬度差异,可以清晰辨识管腔结构;在Au@ZIF-8纳米颗粒的STEM明场像中,Au颗粒衬度较暗,ZIF-8衬度较亮,通过两者之间的衬度差异可以观察到核壳结构;喷金乳胶标样上纳米金颗粒之间可识别的最小距离为2.03nm,进一步验证了自制STEM明场成像装置具有较高的分辨率.
Abstract：Atransmission-reflectionscanningtransmissionelectronmicroscopy(STEM)brightfield(BF)imagingdevicewasdeveloped.Thedeviceusedaback-scatteringelectrondetector(BSED)toreceivetransmissionelectronsignalsreflectedbyplatinumplates,andwasinstalledinFEIQuantaFEGseriesscanningelectronmicroscopytorealizetheSTEM-BFimaging.Thepracticabilityofself-madeSTEM-BFimagingdevicewasverifiedbycheckinghalloysite,Au@ZIF-8nanoparticlesandAunanoparticles.TheresultshowedthatthecontrastofSTEM-BFimageofhalloysiteinSEMwasconsistentwiththatofSTEM-BFimageinTEM.Thelumenandwallhadobviouscontrastdifference,clearlyidentifyingthelumenstructure.RevealedbytheSTEM-BFimageofAu@ZIF-8nanoparticles,thecontrastofAuparticleswasdarkerandthatofZIF-8wasbrighter,andthecore-shellstructurewasobservedthroughthecontrastdifference.TheminimumdiscernibledistancebetweenAunanoparticlesoncarbonfilmofstandardsamplewas2.03nm,furtherdemonstratingthattheself-madeSTEM-BFimagingdevicehadahighresolution.
作者：赵学平 侯小虎 刘飞 梁绍波 崔晓明 白朴存 Author：ZHAOXueping HOUXiaohu LIUFei LIANGShaobo CUIXiaoming BAIPucun
作者单位：内蒙古工业大学测试中心,内蒙古呼和浩特010051内蒙古工业大学材料科学与工程学院,内蒙古呼和浩特010051
刊名：电子显微学报 ISTICPKU
Journal：JournalofChineseElectronMicroscopySociety
年，卷(期)：2024, 43(2)
分类号：TN16
关键词：扫描电镜 扫描透射电子显微镜 明场像 成像装置 图像衬度
Keywords：scanningelectronmicroscopy(SEM) scanningtransmissionelectronmicroscopy(STEM) brightfield(BF)image imagingdevice imagecontrast
机标分类号：O661.1R47TB383
在线出版日期：2024年5月21日
基金项目：国家自然科学基金，国家自然科学基金，内蒙古自治区直属高校基本科研业务费项目，内蒙古自治区直属高校基本科研业务费项目，内蒙古自治区直属高校基本科研业务费项目扫描电镜中透射-反射式STEM明场成像装置的研制及应用[
期刊论文] 电子显微学报--2024, 43(2)赵学平 侯小虎 刘飞 梁绍波 崔晓明 白朴存本文研制了一套透射-反射式扫描透射(STEM)明场成像装置,该装置使用背散射电子探头接收经过铂片反射的透射电子信号,可安装在FEIQuantaFEG系列扫描电镜中实现STEM明场成像.分别以埃洛石、Au@ZIF-8纳米颗粒和喷金乳胶标...参考文献和引证文献
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