文档名：一种对极数互质的高精度绝对式角位移传感器
摘要：提出了一种对极数互质的高精度绝对式时栅角位移传感器.在N对极的单圈增量电场式时栅角位移传感器的基础上增加一个M对极的传感器,实现组合测量,其中,2个增量式传感器对极数N和M为互质数,对极数多的作为精测部分,保证传感器的测量精度;对极数少的作为粗测部分,利用2个增量式传感器输出行波相位差和空间角度对应关系实现传感器的绝对角位移测量.采用差动感应电极结构消除共模干扰以保证测量精度,这种对极数互质组合测量传感器既能够较容易实现绝对定位,又能够保证传感器的高精度.采用印制电路板技术制造了外径154mm、内径100mm、厚度2mm的传感器样机,搭建了实验平台进行测试,测试结果表明:该传感器的整周测量范围原始精度可达±1.8″.
作者：吴昶亮 于治成 蒲红吉 展丙男 樊星辰 Author：WUChangliang YUZhicheng PUHongji ZHANBingnan FANXingchen
作者单位：重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心,重庆400054北京理工大学机械与车辆学院,北京100081合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥230009
刊名：重庆理工大学学报 ISTIC
Journal：JournalofChongqingInstituteofTechnology
年，卷(期)：2023, 37(4)
分类号：TH7
关键词：互质 绝对式 角位移传感器 时栅
机标分类号：TP212.1TH7TP391
在线出版日期：2023年3月20日
基金项目：重庆市教委科学技术研究项目，重庆市教委科学技术研究项目，重庆市教委科技创新项目一种对极数互质的高精度绝对式角位移传感器[
期刊论文] 重庆理工大学学报--2023, 37(4)吴昶亮 于治成 蒲红吉 展丙男 樊星辰提出了一种对极数互质的高精度绝对式时栅角位移传感器.在N对极的单圈增量电场式时栅角位移传感器的基础上增加一个M对极的传感器,实现组合测量,其中,2个增量式传感器对极数N和M为互质数,对极数多的作为精测部分,保证传...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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