文档名：一种分时复用的绝对式纳米时栅位移传感器设计
摘要：现代高端装备制造对精密位移检测技术提出了绝对位置测量、高精度和大量程的需求,针对绝对式位移量程与编码的矛盾,提出了一种基于分时复用方法的绝对式纳米时栅位移传感器.采用单列式时栅位移传感器作为绝对式传感器的精测部分,记为传感器A.为了实现绝对位移测量,增加一个周期数比传感器A少且互为质数的对射增量式时栅位移传感器,记为传感器B.利用传感器A与传感器B输出行波的相位值,通过查找表和定位计算实现绝对位移测量.提出了一种分时复用的方法,通过分时间段为传感器A与传感器B提供激励信号,可以有效降低传感器功耗.此外,传感器A与传感器B的感应电极在内部用引线连接,共用1组感应信号处理接口,减少了1组感应信号处理器件,节约了电路空间.采用多层PCB工艺制造了传感样机,搭建了实验平台并对样机性能进行测试.最终实验结果表明:在450mm范围内,非线性测量误差达到±3μm.
作者：邓志钊 蒲红吉 于治成 王合文 樊星辰 Author：DENGZhizhao PUHongji YUZhicheng WANGHewen FANXingchen
作者单位：重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心,重庆400054;时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室,重庆400054合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥230009
刊名：重庆理工大学学报 PKU
Journal：JournalofChongqingInstituteofTechnology
年，卷(期)：2023, 37(23)
分类号：TH7
关键词：分时复用方法 绝对位移测量 纳米时栅 位移传感器
Keywords：timedivisionmultiplexingmethod absolutepositionmeasurement nanometertimegrating displacementsensor
机标分类号：TP202TG8TP391.41
在线出版日期：2024年3月1日
基金项目：重庆市教委科学技术研究项目一种分时复用的绝对式纳米时栅位移传感器设计[
期刊论文] 重庆理工大学学报--2023, 37(23)邓志钊 蒲红吉 于治成 王合文 樊星辰现代高端装备制造对精密位移检测技术提出了绝对位置测量、高精度和大量程的需求,针对绝对式位移量程与编码的矛盾,提出了一种基于分时复用方法的绝对式纳米时栅位移传感器.采用单列式时栅位移传感器作为绝对式传感器的精...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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