文档名：酸性一价铜电镀铜的工艺及能效分析
摘要：针对电镀铜过程电力成本高的问题,通过极化曲线、赫尔槽试验、槽压变化以及扫描电镜等手段,分析了酸性一价铜电镀铜的电极过程及能效.通过对阴极的分析表明:优先发生亚铜离子的还原,阴极电流效率高于92％,且随阴极电流密度的增大而提高;当阴极电流密度不高于4.0A·dm-2时,镀铜层表面状态和微观形貌较为优异.通过对紫铜阳极的分析表明:优先发生铜的氧化,阳极电流效率高于94％,且随阳极电流密度的增大而提高;阳极会发生钝化,导致槽压急剧升高;当采用大阳极小阴极进行电镀时,既可以克服槽压升高的问题又可以保证阴阳极电流效率的匹配.
Abstract：Inordertoreducetheelectricityconsumptionincopperelectroplating,energyefficiencyandelectrochemicalprocessesoftheacidiccuproussolutionwereanalyzedbypolarizationcurvemeasure-ment,Hullcelltest,observationofcellvoltage,andscanningelectronmicroscopy.Onthecathode,Cu+ispriortobereduced.Additionally,thecathodiccurrentefficiencyishigherthan92％andincreas-eswiththecathodiccurrentdensity.Whenthecathodiccurrentdensityisnothigherthan4.0A·dm-2,thepreparedcopperfilmsshowexcellentapparentconditionandmorphology.Onthecopperanode,me-tallicCuispriortobeoxidized.Therefore,theanodiccurrentefficiencyisabove94％andincreaseswiththeanodiccurrentdensity.Moreover,theanodewillbepassivated,resultinginadramaticin-creaseofbathvoltage.However,employingalargeanodeandasmallcathodecanlowerthebathvolt-age,andmatchthecurrentefficienciesofanodeandcathode.
作者：刘颖 邢希瑞 田栋 夏方诠 李宁 Author：LiuYing XingXirui TianDong XiaFangquan LiNing
作者单位：山东省路桥集团有限公司,山东济南250014济南大学化学化工学院,山东济南250022哈尔滨工业大学化工与化学学院,黑龙江哈尔滨150001
刊名：电镀与精饰 ISTICPKU
Journal：Plating&Finishing
年，卷(期)：2024, 46(4)
分类号：TQ153.14
关键词：电镀铜 一价铜 电流效率 钝化 槽压
Keywords：copperelectroplating cuprous currentefficiency passivation bathvoltage
机标分类号：TQ153TG174.4TN929.5
在线出版日期：2024年5月15日
基金项目：酸性一价铜电镀铜的工艺及能效分析[
期刊论文] 电镀与精饰--2024, 46(4)刘颖 邢希瑞 田栋 夏方诠 李宁针对电镀铜过程电力成本高的问题,通过极化曲线、赫尔槽试验、槽压变化以及扫描电镜等手段,分析了酸性一价铜电镀铜的电极过程及能效.通过对阴极的分析表明:优先发生亚铜离子的还原,阴极电流效率高于92％,且随阴极电流密度...参考文献和引证文献
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