文档名：一种凸纹薄膜CMUT阵列的设计与实现
摘要：为提升电容式微机械超声换能器(CMUT)的输出声压,提出一种新型凸纹薄膜CMUT阵列设计与实现方法.首先结合解析法与有限元分析法设计器件;然后结合牺牲层释放工艺与电镀方法在CMUT电极上制备尺寸为3μm×2μm的镍凸纹圆环;最后对凸纹薄膜CMUT阵列进行光学、电学与声学特性测量.声学测量结果表明在塌陷模式下78％的工作点范围内,凸纹薄膜CMUT的输出声压均比常规的平膜CMUT高.当直流偏置电压为160V时,凸纹薄膜CMUT的输出声压提升21.2％,3-dB相对带宽为54％.本研究成果为新型CMUT的设计与实现提供了有益的指导.
作者：余远昱 王久江 刘鑫 张双 Author：YUYuanyu WANGJiujiang LIUXin ZHANGShuang
作者单位：内江师范学院人工智能学院,四川内江641100澳门大学模拟与混合信号超大规模集成电路国家重点实验室,中国澳门999078;澳门大学科技学院电机与电脑工程系,中国澳门999078内江师范学院人工智能学院,四川内江641100;电子科技大学生命科学与技术学院,四川成都611731
刊名：传感技术学报 ISTICPKU
Journal：ChineseJournalofSensorsandActuators
年，卷(期)：2023, 36(12)
分类号：TB552TN405
关键词：电容式微机械超声换能器 凸纹薄膜CMUT 输出声压 牺牲层释放工艺 塌陷模式CMUT
Keywords：capacitivemicromachinedultrasonictransducer embossedmembraneCMUT outputpressure sacrificiallayerreleaseprocess collapse-modeCMUT
机标分类号：TB552TN911.71TN0
在线出版日期：2024年2月23日
基金项目：国家自然科学基金，四川省科技计划资助项目，四川省科技计划资助项目，四川省科技计划资助项目，中国博士后科学基金面上项目，内江师范学院科研团队项目一种凸纹薄膜CMUT阵列的设计与实现[
期刊论文] 传感技术学报--2023, 36(12)余远昱 王久江 刘鑫 张双为提升电容式微机械超声换能器(CMUT)的输出声压,提出一种新型凸纹薄膜CMUT阵列设计与实现方法.首先结合解析法与有限元分析法设计器件;然后结合牺牲层释放工艺与电镀方法在CMUT电极上制备尺寸为3μm×2μm的镍凸纹圆环;最...参考文献和引证文献
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