文档名：微纳电极阵等离子体微系统
摘要：发现微纳尺度结构效应能调控电荷分布,在空间中激励形成极化带电场,极化带电场中原子、分子间相互作用的特异性产生了极化带效应.设计产生极化带效应的微纳电极阵结构,通过非硅微/纳加工技术集成形成微纳电极阵等离子体微系统(NPMEMS),NPMEMS可集中或分布式地调控物质状态、产生极化带等离子体,利用其特殊的理化性能可大幅提高应用系统效率,或解决多个领域中应用技术的机理性难题.
Abstract：Wefindthateffectsresultedfrommicro/nanoscalestructurescanregulatespacechargeswhichexciteandleadtotheelectricfielddistributionfeaturingthefluxconvergencebandstructure.Itisherereferredtoasthepolarizationbandeffect,whichstemsfromthespecificfieldinducedinteractionsamongatomsandmolecules.Themicro/nanoelectrodearraystructuresaredesignedandfabricatedbyusingthenon-siliconmicro/nanoprocessingtechnology,formingnanoelectrodearrays-basedplasmamicroelectromechanicalsystems(NPMEMS).TheintegratedNPMEMSdevicecanbeusedtoregulateinnerenergystatesofmattersandgenerateplasmabasedonthepolarizationbandeffect,allwithinasinglechip-sizelimitedlocalareaorextendingintoalargevolumespacewiththedeploymentofadistributedarrayofmultipledevices.Itsspecialphysicalandchemicalpropertiescanbeutilizedtogreatlyimprovetheefficiencyofpo-tentialapplicationsystemsorsolvemechanism-levelchallengesinplasma-relatedapplicationsofmultiplefields.
作者：丁衡高 侯中宇 Author：DINGHengao HOUZhongyu
作者单位：中国工程院上海交通大学微米纳米加工技术全国重点实验室,上海200240
刊名：传感技术学报 ISTICPKU
Journal：ChineseJournalofSensorsandActuators
年，卷(期)：2024, 37(5)
分类号：TP212
关键词：微机电系统 微纳电极阵 等离子体
Keywords：MEMS micro/nanoelectrodearray plasma
机标分类号：O641.3TP393S183
在线出版日期：2024年7月19日
基金项目：微纳电极阵等离子体微系统[
期刊论文] 传感技术学报--2024, 37(5)丁衡高 侯中宇发现微纳尺度结构效应能调控电荷分布,在空间中激励形成极化带电场,极化带电场中原子、分子间相互作用的特异性产生了极化带效应.设计产生极化带效应的微纳电极阵结构,通过非硅微/纳加工技术集成形成微纳电极阵等离子体微...参考文献和引证文献
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