文档名：微纳陶瓷基铂铑10铂热电偶技术研究
摘要：针对燃气轮机温度检测高温热电偶存在的热容大、响应时间慢、无法表贴安装等诸多技术问题,利用陶瓷微纳加工技术制造出50μm厚度的柔性芯片基底,经薄膜工艺形成冗余结构的铂铑10-铂热电偶电极,通过"三明治"封装形成全陶瓷密封型热电偶,开展微纳陶瓷基高温热电偶性能与功能试验.试验表明,所设计的微纳陶瓷基高温热电偶具有快响应特点,能实现在圆滑表面进行柔性表贴安装,在0～1000℃温度范围内,热电偶输出灵敏度与二级标准铂铑10-铂热电偶比对,偏差在±0.3％,90％响应时间优于0.1s,热电偶具有良好的高温稳定性.
Abstract：Aimingatthetechnicalproblemsofhightemperaturethermocoupleingasturbinetemperaturedetection,suchaslargeheatcapacity,slowresponsetimeandinabilitytomountonthesurface,aflexiblechipsubstrateof50μmthicknessismanufacturedbyceramicmicro-nanoprocessingtechnology,andaplatinumrhodium10-platinumthermocoupleelectrodeiswithredundantstructureformedbythinfilmprocess,andanall-ceramicsealedthermocoupleisformedbysandwichpackaging.Theperformanceandfunctiontestsofmicro-nanoceramicbasedhightemperaturethermocouplearecarriedout.Theexperimentsshowthatthedesignedmicro-nanoceramicbasedhightemperaturethermocouplehasthecharacteristicsoffastresponse,andcanachievetheflexiblesurfacemountingonthesmoothsurface.Inthetemperaturerangeof0～1000℃,theoutputsensitivityofthethermocoupleiscomparedwiththatofthesecondarystandardplatinumrhodium10-platinumthermocouple,thedeviationiswithin±0.3％,andtheresponsetimeof90％isbetterthan0.1s.Thethermocouplehasgoodhigh-temperaturestability.
作者：张洪泉 邢会明 王辉 单国柱 罗嘉琪 Author：ZHANGHongquan XINGHuiming WANGHui SHANGuozhu LUOJiaqi
作者单位：哈尔滨工程大学智能科学与工程学院,黑龙江哈尔滨150001哈尔滨工程大学三亚南海创新发展基地,海南三亚572024
刊名：传感器与微系统
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(4)
分类号：TP212.11
关键词：微纳加工 热电偶 快响应 冗余 柔性
Keywords：micro-nanoprocessing thermocouple fastresponse redundancy flexibility
机标分类号：U416.217TP212TP391.73
在线出版日期：2024年4月26日
基金项目：黑龙江省重点研发计划资助项目，海南省自然科学基金联合资助项目，国家自然科学基金，哈尔滨市科技计划自筹经费资助项目，黑龙江省重大科技成果转化项目微纳陶瓷基铂铑10-铂热电偶技术研究[
期刊论文] 传感器与微系统--2024, 43(4)张洪泉 邢会明 王辉 单国柱 罗嘉琪针对燃气轮机温度检测高温热电偶存在的热容大、响应时间慢、无法表贴安装等诸多技术问题,利用陶瓷微纳加工技术制造出50μm厚度的柔性芯片基底,经薄膜工艺形成冗余结构的铂铑10-铂热电偶电极,通过"三明治"封装形成全陶瓷...参考文献和引证文献
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