文档名：用于制备氮化硅的四氯化硅回收精制工艺
摘要：对多晶硅工艺副产物四氯化硅进行回收,并结合下游制备氮化硅粉体的利用路线,研究可行、高效的回收精制工艺.分别针对还原尾气、四氯化硅废液的组成特点设计四氯化硅回收工艺,并通过四氯化硅精制工艺将四氯化硅产品与其他氯硅烷进行分离,使其满足氨解法制氮化硅对原料的要求.使用AspenPlus对上述工艺进行建模分析,并通过工艺能量集成进一步降低工艺整体能耗,使该利用路线更具备竞争力.
作者：王克峰 杨平 李娇 Author：WANGKe-feng YANGping LIjiao
作者单位：大连理工大学化工学院辽宁大连116024大连理工大学体育馆,辽宁大连116024
刊名：当代化工 ISTIC
Journal：ContemporaryChemicalIndustry
年，卷(期)：2023, 52(5)
分类号：TQ201
关键词：四氯化硅 氮化硅 AspenPlus 能量集成
机标分类号：TQ015.9TQ127.2TU243
在线出版日期：2023年7月7日
基金项目：国家高技术研究发展计划（863计划）用于制备氮化硅的四氯化硅回收精制工艺[
期刊论文] 当代化工--2023, 52(5)王克峰 杨平 李娇对多晶硅工艺副产物四氯化硅进行回收,并结合下游制备氮化硅粉体的利用路线,研究可行、高效的回收精制工艺.分别针对还原尾气、四氯化硅废液的组成特点设计四氯化硅回收工艺,并通过四氯化硅精制工艺将四氯化硅产品与其他氯...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
本文读者也读过
相似文献
相关博文
用于制备氮化硅的四氯化硅回收精制工艺 Silicon Tetrachloride Recovery and Refining Process for Preparing Silicon Nitride
用于制备氮化硅的四氯化硅回收精制工艺.pdf
- 文件大小:
- 2.05 MB
- 下载次数:
- 60
-
高速下载
|
|
