文档名：新型电容式传感器的设计与优化
摘要：首先,基于微电容式超声波换能器(CMUT)建模理论,依据CMUT的电学特性和机械特性,构建了等效电路模型和平行板电容模型;然后,给出了CMUT薄膜的振动位移、固有频率、塌陷电压以及转换系数等关键的特性参量表达式,完善了CMUT理论体系,确定了结构尺寸;最后,针对CMUT设计主要用到的Ansys有限元仿真分析方法存在的操作复杂、运算时间长等问题,提出了一种利用Simulink状态模型对CMUT特性的动态仿真分析的方法.通过对CMUT发射/接收动态系统模型的建立,实现了其性能的仿真与分析,为后续实际应用提供了重要的理论指导,同时该动态系统模型为CMUT设计提供了一种简单、高效的方法,提高了CMUT结构设计与分析的效率.
作者：史兆强 李明Author：SHIZhaoqiang LIMing
作者单位：河南工学院电子信息工程学院,河南新乡453003
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(2)
分类号：TB332
关键词：微电容式超声波换能器 Simulink模型 动态系统
机标分类号：TP212TB552TH816
在线出版日期：2023年3月13日
基金项目：国家自然科学基金新型电容式传感器的设计与优化[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(2)史兆强 李明首先,基于微电容式超声波换能器(CMUT)建模理论,依据CMUT的电学特性和机械特性,构建了等效电路模型和平行板电容模型;然后,给出了CMUT薄膜的振动位移、固有频率、塌陷电压以及转换系数等关键的特性参量表达式,完善了CMUT理...参考文献和引证文献
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