文档名：自供电光电传感器的构建及光电性能研究
通过热蒸发法蒸镀超薄氧化钨薄膜,成功构建具有WO3-x/Si异质结纳米光电传感器,器件显示出自驱动、高灵敏、宽光谱、快速响应等特征.通过对异质结界面进行H化和CH3化处理,发现CH3处理调控能显著拓宽器件带宽、增强光电响应性能.同时,还系统研究了不同微纳结构对异质结光电器件的影响规律,揭示微纳结构和界面钝化对WO3-x/Si光电器件性能增强的微观机理.
作者：刘于金赵传熙曾平羊马坤谢伟广麦文杰
作者单位：暨南大学物理系,思源实验室广州市真空薄膜技术与新能源材料重点实验室,广州510632
母体文献：珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨2016年广东省真空学会学术年会论文集
会议名称：珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨2016年广东省真空学会学术年会
会议时间：2016年12月1日
会议地点：广州
主办单位：广东省真空学会,广东省振兴科技基金会
语种：chi
分类号：TM5TN3
关键词：自供电光电传感器 微纳结构 异质结界面 钝化处理 光电性能
在线出版日期：2020年5月31日
基金项目：
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