用于深空探测的MEMS压力传感器研究现状与发展趋势

文档名：用于深空探测的MEMS压力传感器研究现状与发展趋势
人类对未知世界的探索渴望是推动社会发展的重要动力源泉,深空探测是探索未知世界的重要领域之一.文章简述了适用于深空探测的MEMS压力传感器的种类及敏感机理,详细论述了低量程MEMS电容式压力传感器(量程0～2000Pa,分辨率0.01Pa)研究成果(美国NASA、美国ISSYS公司、美国密西根大学、韩国首尔电予技术研究所、国内研究及中国首次火星探测)和成熟产品(MKS公司、INFICON公司、SETRA公司、HONEYMELL公司等)的工作原理、特点与技术优劣势,并分析了其关键性能指标;介绍了高精度高稳定性(精度±0.01％F.S.,稳定性±0.01％F.S./年)MEMS谐振式压力传感器的最新研究成果和产品(日本yokogawa公司、美国GE公司、美国Paroscientific公司、法国Thales公司、国内研究),并分析了其工作原理和技术特点与优劣势;最后探讨了适用于深空探测的MEMS压力传感器的发展趋势.
作者：焦海龙杨挺杨贵玉陈倩
作者单位：中国航天科技集团有限公司北京遥测技术研究所MEMS工程中心,北京,100076
母体文献：2018粤港澳大湾区智能检测与协同创新青年论坛论文集
会议名称：2018粤港澳大湾区智能检测与协同创新青年论坛  
会议时间：2018年8月1日
会议地点：广州
主办单位：中国仪器仪表学会
语种：chi
分类号：TP2R57
关键词：深空探测  压力传感器  技术指标
在线出版日期：2021年12月15日
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