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用晶体硅金刚线切割废料制备高纯硅的研究

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admin 发表于 2024-12-11 21:22 | 查看全部 阅读模式

文档名:用晶体硅金刚线切割废料制备高纯硅的研究
主要进行了晶体硅金刚线切割废料制备高纯硅的研究.首先利用X射线荧光光谱(XRF)、激光粒度仪、X射线衍射仪(XRD)、傅里叶红外光谱仪以及化学分析方法对切割废料的性质进行了研究.结果表明:切割废料中主要化学组成元素是Si,同时含少量金属杂质元素Al和Fe,切割废料粒度主要分布在0.14~8.71μm,切割废料中主要物相是单质硅,其中硅百分含量为83.99%,硅氧化物百分含量为13.5%,其他杂质百分含量为2.51%.然后将切割废料粉体压制成球团,将球团置于常压感应熔炼中进行熔炼,重新将其制备成高纯硅锭.产物硅纯度高达99.06%,出硅率达到60.32%.
作者:孔剑邢鹏飞郭晓琳孟凡兴金星魏冬卉
作者单位:东北大学沈阳中国110819
母体文献:第26届全国铁合金学术研讨会论文集
会议名称:第26届全国铁合金学术研讨会  
会议时间:2018年9月12日
会议地点:贵州
主办单位:中国金属学会
语种:chi
分类号:TQ1TN3
关键词:高纯硅  制备工艺  晶体硅  金刚线切割废料
在线出版日期:2022年3月9日
基金项目:
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2024-12-11 21:22 上传
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