文档名：一种提升干膜光阻剂解析能力的新方案
本文探讨了一种提升干膜光阻剂解析能力的新方案，Z-6030单独使用，对附着力有提升;但是铜面残留声重;类似结构的能动科技研发中心也得到验证，将主体树脂做成有一定活性的树脂，能有效增加配方中低分子树脂的使用;此种树脂的使用，可以有效地增加固化后膜的交联密度，增强了细线路的附着力，将这种活性树脂作为千膜光阻剂配方的助树脂，配合原树脂使用，可以简化配方。
作者：杜永杰
作者单位：珠海市能动科技光学产业有限公司
母体文献：2020第二十一届辐射固化年会论文集
会议名称：2020第二十一届辐射固化年会
会议时间：2020年10月16日
会议地点：西安
主办单位：中国感光学会
语种：chi
分类号：TP3O63
关键词：干膜光阻剂 配方设计 制造工艺 解析能力
在线出版日期：2021年1月25日
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