文档名：一种基于MEMS技术的声矢量传感器
作者设计了一种由三个指向性满足笛卡尔坐标系正交分布的空气声质点振速传感器和一只全向声压传感器组成的声矢量传感器.对一种具有"8"字形指向性的桥式结构的质点振速传感器的工作原理进行分析,并利用MEMS工艺技术加工出了该质点振速传感器.最后对组装完成的声矢量传感器的频率响应及指向性进行了测试,测试结果表明该声矢量传感器具有良好的声学性能。
作者：侍艳华冯杰周瑜
作者单位：中国电子科技集团公司第三研究所北京100015
母体文献：2015年声频工程学术交流年会论文集
会议名称：2015年声频工程学术交流年会
会议时间：2015年9月1日
会议地点：武汉
主办单位：中国电子学会声频工程分会,中国声学学会声频工程分会
语种：chi
分类号：TP2R98
关键词：声矢量传感器 微机电技术 频率响应 指向性测试 声学性能
在线出版日期：2016年5月26日
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