文档名：氧化铝氧化锆共烧结制备极限电流型氧传感器
本文采用氧化铝氧化锆高温共烧结陶瓷技术制备了一种极限电流型氧传感器,将8mol％氧化钇稳定的氧化锆固体电解质流延膜片、氧化铝流延膜片、加热器叠层热压并一次共烧成一体.与传统共烧结制作工艺相比,采用氧化铝流延膜片替代丝网印刷的氧化铝厚膜制作绝缘层,因而具有更好的绝缘性.制作的传感器加热功率为1.8W,工作电压为1.6V,测量范围为1％O2～95％O2,精度小于±0.5％,响应时间小于8s.传感器的输出电流长期稳定,在空气中830天的变化量小于初始值的2％,对应的氧浓度变化量在0.4％以内.
作者：程振乾刘玺刘洋赫伟东刘继江武强
作者单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所,哈尔滨150001
母体文献：第十四届全国敏感元件与传感器学术会议论文集
会议名称：第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
会议时间：2016年10月14日
会议地点：成都
主办单位：中国仪器仪表学会,中国电子学会,中国航空学会,中国生物工程学会
语种：chi
分类号：TP2TM9
关键词：极限电流型氧传感器 高温共烧结陶瓷 氧化铝 氧化锆
在线出版日期：2019年4月17日
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