文档名：微结构金属膜环带片电磁聚焦理论及设计方法
微结构金属膜环带片是一类新颖的微纳光子学器件,应用于超分辨光学聚焦、纳米显微成像、精密工程测量等.阐述了微结构金属膜环带片的通用、快速矢量优化设计方法,适用于线偏振光、圆偏振光、径向偏振光等典型矢量光束,调制产生远场超分辨聚焦光斑和超细光针场.基于三维时域有限差分法进行了微结构金属膜环带片的严格电磁理论验证,能够精确模拟光场在微结构金属膜环带沟槽内部的散射传播过程.在深紫外至可见光波段,给出了λ/10～λ/6厚金属铝膜制备微结构环带片的经验选取方法.
作者：刘涛杨树明蒋庄德
作者单位：西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,陕西西安710049
母体文献：全国计量测试技术学术交流会论文集
会议名称：全国计量测试技术学术交流会
会议时间：2016年5月1日
会议地点：北京
主办单位：中国计量测试学会
语种：chi
分类号：TB4TU5
关键词：微结构金属膜环带片 优化设计 电磁聚焦理论 矢量衍射
在线出版日期：2020年5月31日
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