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四元合金BeMgZnO的分子束外延生长及热稳定性研究

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admin 发表于 2024-12-11 16:28 | 查看全部 阅读模式

文档名:四元合金BeMgZnO的分子束外延生长及热稳定性研究
本文通过等离子体辅助分子束外延(MBE)的方法在蓝宝石衬底上生长了结构稳定的六方相四元合金材料BeMgZnO,合金中Mg的含量占18.3%,Be的含量占8.7%。X射线衍射(XRD)测试表明样品为单一的六方结构相;其透射光谱的截止边位于~330nm,处于UVA波段。在氧气氛围下对该样品进行不同温度热退火一个小时后的结果显示,随着热退火温度的不断升高,样品的XRD峰位逐渐往小角度方向移动,当热退火温度达到800℃时,BeMgZnO合金的XRD峰位置和Mg0.2Zn0.8O样品的XRD峰位一致。另外结合XPS和吸收光谱的测试结果,发现随着热退火温度的升高,BeMgZnO合金中的Be原子逐渐析出主晶格,样品在热退火的过程中经历再次结晶,生成BeO和MgZnO两种合金。导致这一现象的原因在于Be原子的半径较小,在主晶格中迁移时周围的势垒较低,在热活能的激励下,极容易从主晶格中迁移出来,在氧气氛围下形成BeO第二相。本研究结果为实现高稳定Ⅱ-Ⅵ族半导体合金基紫外光电器件提供了重要的实验和理论基础。
作者:苏龙兴 方晓生 汤子康
作者单位:复旦大学材料科学系中山大学电子与信息工程学院;澳门大学应用物理和材料工程研究所
母体文献:第十二届全国分子束外延学术会议论文集
会议名称:第十二届全国分子束外延学术会议  
会议时间:2017年8月15日
会议地点:太原
主办单位:中国有色金属学会,中国电子学会
语种:chi
分类号:TN3TG1
关键词:四元合金  分子束生长  晶格结构  热稳定性
在线出版日期:2019年8月12日
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