文档名：湿度对原子力显微镜测量金纳米栅格几何形貌的影响
对不同湿度环境下原子力显微镜(AFM)对金纳米栅格几何形貌的测量结果进行了探究.通过在恒温条件下对仪器整体环境湿度进行有规律的调控,实现了在相对湿度35％～75％范围内对金纳米栅格高度及表面粗糙度的准确测量.结果表明:对于实验中使用的线宽标称值2μm的金纳米栅格,栅格高度随相对湿度的增加而有所降低;粗糙度随相对湿度增加而增加,且相对湿度升高至75％时对测量结果影响尤为显著.因此,在使用AFM对纳米几何栅格结构进行精确测量和定值时,需要对环境湿度进行记录和监控.
作者：黄鹭 施玉书 马爱文 曹丛 李琪 李伟 李适 高思田
作者单位：中国计量科学研究院,北京100029中国计量测试学会,北京100029山东省计量院,山东济南250000
母体文献：2017全国几何量精密测量技术学术交流会论文集
会议名称：2017全国几何量精密测量技术学术交流会
会议时间：2017年9月1日
会议地点：甘肃酒泉
主办单位：中国计量测试学会
语种：chi
分类号：
关键词：金纳米栅格 几何形貌测量 环境湿度 原子力显微镜
在线出版日期：2020年10月26日
基金项目：
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