文档名：三氟化氮发展及展望
三氟化氮(NF3)作为一种重要的电子气体及氟化剂,在过去几十年里得到了充分的研究.本文综述了NF3的合成、用途及检测方法.尽管三氟化氮对温室效应有一定的影响,但在短期内仍是一种不可替代的重要工业气体,需要进一步解决三氟化氮生产过程的泄露及检测问题.
作者：尹强 贾湘锐 毛沅文 方耿乐 周阳
作者单位：广东省计量科学研究院,广州华南国家计量测试中心香港实验室,香港
母体文献：2018粤港澳大湾区智能检测与协同创新青年论坛论文集
会议名称：2018粤港澳大湾区智能检测与协同创新青年论坛
会议时间：2018年8月1日
会议地点：广州
主办单位：中国仪器仪表学会
语种：chi
分类号：TQ1TN3
关键词：三氟化氮 制备工艺 温室效应 气体泄露 传感器
在线出版日期：2021年12月15日
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