文档名：浅析自动去边机化学品自动供液系统CDS
自动去边机使用氢氟酸作为工艺药液,为了保证供液过程的人员安全,提高供液效率,所以采用自动去边机化学品自动供液系统可以有效解决上述问题.
作者：王国瑞高翔
作者单位：天津环博科技有限责任公司,300384
母体文献：第三十二届中国(天津)2018‘IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集
会议名称：第三十二届中国(天津)2018‘IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议
会议时间：2018年7月1日
会议地点：天津
主办单位：中国仪器仪表学会,中国电子学会,天津市仪器仪表学会,天津市电子学会
语种：chi
分类号：TH1TG5
关键词：硅片 外延加工 自动去边机 自动供液系统
在线出版日期：2022年3月9日
基金项目：
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