文档名：两种超声雾化热解喷涂工艺中多源布局的对比分析
超声雾化热解喷涂(usp)是一种简单高效的薄膜制备方法.为了实现掺杂、多组分薄膜制备、多层薄膜制备,采用多源结构是一种合理的技术考虑.本文对共管道和共聚焦两种多源布局方式进行了分析讨论.认为两种布局方式都有优势:共管道布局结构简单,成本低廉,共聚焦布局可以实现复杂的薄膜制备,也有利于高质量成膜.两种布局方式也都有不足:共管道布局容易导致污染,降低薄膜质量,共聚焦方式实现成本较高.
作者：方学锋
作者单位：杭州大华仪器制造有限公司
母体文献：第十四届长三角科技论坛暨第十届华东真空学术交流会论文集
会议名称：第十四届长三角科技论坛暨第十届华东真空学术交流会
会议时间：2017年10月1日
会议地点：上海
主办单位：上海市真空学会,江苏省真空学会,安徽省真空学会,浙江省真空学会
语种：chi
分类号：TU9TN3
关键词：薄膜材料 超声雾化热解喷涂 共管道布局 共聚焦布局
在线出版日期：2021年3月22日
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