文档名：孔径尺寸非接触式直接测量方法研究
针对如何准确测量孔径尺寸的问题,传统的接触式测量法既无法涵盖10mm以下微小孔径尺寸的测量需求,其测量的准确性与效率也难以满足实际工作的要求.本文介绍了一种根据光电显微瞄准技术搭建的精密孔径测试装置实现对孔径尺寸的非接触式直接测量,并对测量过程中影响测量结果的不确定度分量进行分析.
作者：祝卿陈继刚余华昌包晓峰
作者单位：上海精密计量测试研究所,上海201100
母体文献：2017计量测试技术学术交流会论文集
会议名称：2017计量测试技术学术交流会
会议时间：2017年10月24日
会议地点：海口
主办单位：中国计量测试学会
语种：chi
分类号：
关键词：孔径尺寸 非接触式测量 光电显微瞄准技术 不确定度
在线出版日期：2021年3月22日
基金项目：
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