GBT 14603-2009 电子工业用气体.三氟化硼

电子工业用气体.三氟化硼
Gasesforelectronicindustry.Borontrifluoride

摘要:本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全要求。本标准适用于以氟气和硼单质为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。

标准编号：GB/T14603-2009
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2009年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2010年1月1日
关键词：电子工程,硼无机化合物,工业的,气体,氟化物,ELECTRONICENGINEERING,BORICINORGANICCOMPOUNDS,BORONINORGANICCOMPOUNDS,INDUSTRIAL,GASES,GAS,FLUORIDES

GB/T 14603-2009 电子工业用气体.三氟化硼.pdf

2024-9-22 13:02 上传 GBT 14603-2009 电子工业用气体.三氟化硼.pdf

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