文档名：晶体硅金刚线切割废料氮化反应的研究
以晶体硅金刚线切割废料为原料,使用卧式氮化炉进行氮化反应,通过X-射线衍射仪(XRD)以及扫描电子显微镜(SEM)研究不同氮化温度(1300℃、1350℃、1400℃、1450℃、1500℃)、不同氮化时间(1h、1.5h、2h、2.5h、3h)以及不同添加剂含量(0、5％、10％、15％、20％)对氮化反应的影响.结果表明,在一定范围内氮化温度的升高有利于α-Si3N4、β-Si3N4和Si2N2O三种物相的生成;氮化时间的增加一方面有利于α-Si3N4、β-Si3N4和Si2N2O三种物相的生成,但是氮化时间过长会导致α-Si3N4转变为β-Si3N4以及Si2N2O转化为Si3N4;以α-Si3N4为添加剂可明显促进氮化反应的进行程度,有利于α-Si3N4的生成.
作者：孙钰杰金星孔剑董开朝邢鹏飞
作者单位：东北大学冶金学院沈阳中国110819
母体文献：第26届全国铁合金学术研讨会论文集
会议名称：第26届全国铁合金学术研讨会
会议时间：2018年9月12日
会议地点：贵州
主办单位：中国金属学会
语种：chi
分类号：TN3TQ1
关键词：晶体硅 金刚线切割废料 氮化反应 卧式氮化炉
在线出版日期：2022年3月9日
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