金属辅助透明导电键合的GaAs量子点硅基混合激光器

文档名：金属辅助透明导电键合的GaAs量子点硅基混合激光器
设计并生长了发光波长1200-1300纳米GaAs基量子点材料,制作了利用ITO透明导电层作为N型电极InAs/GaAs量子点激光器结构,利用金属In与SOI波导材料辅助键合,测量了器件的电学和光学特性.
作者：秦璐 许兴胜 徐波 张连学 葛超洋 冉广照
作者单位：中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室,北京100083中国科学院半导体研究所材料科学重点实验室,北京100083北京大学物理学院,北京100871
母体文献：第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会论文集
会议名称：第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会  
会议时间：2017年5月25日
会议地点：厦门
主办单位：厦门大学,浙江大学
语种：chi
分类号：TN3TN2
关键词：硅基混合激光器  量子点材料  电学特性  光学特性
在线出版日期：2020年6月22日
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2024-12-11 00:12 上传 金属辅助透明导电键合的GaAs量子点硅基混合激光器.pdf

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