[化工] GBT 16944-2009 电子工业用气体.氮

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admin 发表于 2024-9-22 12:48 | 查看全部阅读模式

电子工业用气体.氮
Gasforelectronicindustry.Nitrogen

摘要:本标准规定了电子工业用气体氮技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压，化学气相淀积等。

标准编号：GB/T16944-2009
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2009年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2010年1月1日
关键词：电子工程,工业,氮,气体,ELECTRONICENGINEERING,INDUSTRIES,NITROGEN,GASES,GAS

GB/T 16944-2009 电子工业用气体.氮.pdf

气体, 电子工业

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