文档名：集成电路制造先进技术发展趋势及解决方案
文章介绍了集成电路制造先进技术的发展趋势，阐述了北方微电子公司简介，并提出北方微电子集成电路制造领域解决方案。
作者：刘韶华
作者单位：北方微电子
母体文献：2016中国集成电路产业发展研讨会暨第十九届中国集成电路制造年会论文集
会议名称：2016中国集成电路产业发展研讨会暨第十九届中国集成电路制造年会
会议时间：2016年9月19日
会议地点：厦门
主办单位：中国半导体行业协会
语种：chi
分类号：TP2TN4
关键词：半导体集成电路 制造工艺 设备管理 技术创新
在线出版日期：2019年11月29日
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