GBT 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫

电子工业用气体六氟化硫
Gasesforelectronicindustry--Sulfurhexafluoride

摘要:本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。

标准编号：GB/T18867-2002
标准类型：CP
发布单位：CN-GB
发布日期：2002年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2003年1月1日
关键词：六氟化硫,氟,硫,电子工程,气体,工业的,电子装置,industrial,sulphurhexafluoride,fluorine,sulphur,gas,gases,sulfurhexafluorides,electronicengineering,electronically-operateddevices

GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫.pdf

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