GBT 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫

电子工业用气体六氟化硫
Gasesforelectronicindustry.Sulphurhexaflouride

摘要:本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。分子式:SF。相对分子质量:146.0564192(按2007年国际相对原子质量计算)。

标准编号：GB/T18867-2014
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2014年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2015年1月1日
关键词：六氟化硫,氟,硫,电子工程,气体,工业的,电子装置,SULFURHEXAFLUORIDE,SULPHURHEXAFLUORIDE,SULFURHEXAFLUORIDES,FLUORINE,SULPHUR,ELECTRONICENGINEERING,GASES,GAS,INDUSTRIAL,ELECTRONICALLY-OPERATEDDEVICES

GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫.pdf

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