GBT 20726-2015 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法

微束分析电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法
Microbeamanalysis.SelectedinstrumentalperformanceparametersforthespecificationandcheckingofenergydispersiveX-rayspectrometersforuseinelectronprobemicroanalysis

摘要:本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪(EDS)特性最重要的性能参数。本标准仅适用于基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜(SEM)或电子探针(EPMA)联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程，在ISO22309和ASTME1508中已有规范，不在本标准范围之内。

标准编号：GB/T20726-2015
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2015年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2016年1月1日
关键词：

GB/T 20726-2015 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法.pdf

2024-9-22 12:37 上传 GBT 20726-2015 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法.pdf

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