GBT 21287-2007 电子工业用气体.三氟化氮

电子工业用气体.三氟化氮
Gasesforelectronicindustry.Nitrogentrifluoride

摘要:本标准规定了瓶装电子工业用气体——三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。分子式：NF。分子量：71.0019（按2001年国际相对原子量）

标准编号：GB/T21287-2007
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2007年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2008年1月1日
关键词：电子工程,气体,氟化物,氮,工业,化学工业,ELECTRONICENGINEERING,GASES,GAS,FLUORIDES,NITROGEN,INDUSTRIES,CHEMICALINDUSTRY,CHEMICALINDUSTRIES

GB/T 21287-2007 电子工业用气体.三氟化氮.pdf

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