文档名：基于多角度旋转的高精度平晶测量
为使平晶测量不确定度达到nm级,研究了一种基于多角度旋转的全面形测量方法.介绍了平面标准平晶传统的三面互检法,提出了波前分离技术,将一个波前分为旋转变化部分与旋转不变部分,实现了被测平晶的绝对测量.通过实验及国际比对结果表明,该测量方法的不确定度达到7nm,保证了我国平面度计量水平的国际先进地位.
作者：康岩辉王冰鹤崔京远张恒
作者单位：中国计量科学研究院,北京100029
母体文献：2017全国几何量精密测量技术学术交流会论文集
会议名称：2017全国几何量精密测量技术学术交流会
会议时间：2017年9月1日
会议地点：甘肃酒泉
主办单位：中国计量测试学会
语种：chi
分类号：
关键词：平面度计量 平晶测量 多角度旋转 不确定度
在线出版日期：2020年10月26日
基金项目：
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