文档名：基于激光干涉仪的位移传感器标定技术研究
为提高位移传感器的测量精度,研究了基于激光干涉仪的位移传感器标定方法,并搭建了标定系统,以激光干涉仪作为长度标准,设计了符合阿贝原则的机械结构,减小标定误差;开发了自动控制测量系统,实现被测传感器与标准干涉仪数据的连续、同步采集并输出误差曲线;建立了基于多点差值的误差修正模型,实现位移传感器误差的自动标定.以三角激光传感器为被测对象进行了实验,实验结果表明,经标定后被测传感器绝对误差减小50％以上.
作者：刘俊亨 孙双花 田明 叶孝佑 高宏堂 刘香斌
作者单位：长春理工大学,吉林长春130022;中国计量科学研究院,北京100029中国计量科学研究院,北京100029长春理工大学,吉林长春130022
母体文献：2017全国几何量精密测量技术学术交流会论文集
会议名称：2017全国几何量精密测量技术学术交流会
会议时间：2017年9月1日
会议地点：甘肃酒泉
主办单位：中国计量测试学会
语种：chi
分类号：
关键词：长度计量 位移传感器 标定方法 激光干涉仪 绝对误差
在线出版日期：2020年10月26日
基金项目：
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