文档名：基于CFD与智能优化的直拉硅单晶生长工艺参数研究
本文提出了一种包含了CFD方法、GMDH算法和NSGA-Ⅱ的混合策略，用于Cz法晶体生长建模及工艺参数优化。通过CFD得到了大量的实验样本；通过GMDH型神经网络算法辨识出目标函数固液界面形变量h和缺陷评价准则V/G的多项式模型。
作者：刘丁黄伟超
作者单位：西安理工大学晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心学院
母体文献：2018年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会论文集
会议名称：2018年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会
会议时间：2018年11月1日
会议地点：南昌
主办单位：中国可再生能源学会,上海市太阳能学会
语种：chi
分类号：TG3TN3
关键词：直拉硅 单晶生长 物理场 耦合机理
在线出版日期：2019年11月29日
基金项目：
相似文献
相关博文
- 文件大小:
- 2.97 MB
- 下载次数:
- 60
-
高速下载
|
|
