文档名：基于ANSYS的内置加热子的陶瓷加热器温度场分析
利用有限元分析软件ANSYS对陶瓷加热器的瞬态温度场进行了仿真分析,得到了氮化铝和氧化铝两种陶瓷基体中两种不同加热膜图形瞬时的温度场分布情况.同时对氧化铝基陶瓷加热器的实验结果和模拟计算结果进行了比较分析,计算结果能够反映真实加热器工作过程,可以为陶瓷加热器的加热膜图形设计提供有效依据.
作者：杜斌鲁燕萍任含玉
作者单位：北京真空电子技术研究所,北京100015
母体文献：电子陶瓷、陶瓷-金属封接第十八届会议暨真空电子与专用金属材料分会2018年年会论文集
会议名称：电子陶瓷、陶瓷-金属封接第十八届会议暨真空电子与专用金属材料分会2018年年会
会议时间：2018年9月1日
会议地点：济南
主办单位：中国真空电子材料行业协会
语种：chi
分类号：
关键词：微波器件 陶瓷加热器 瞬态温度场 仿真分析
在线出版日期：2021年9月13日
基金项目：
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