文档名：基于MEMS工艺的安全起爆芯片
针对MEMS火工品低能化带来的安全性问题,设计了一种基于MEMS工艺的安全起爆芯片,采用MEMS工艺制作了Ni-Cr换能元层、绝缘层、导线层,一体化集成了含平面开关的安全起爆芯片;通过对形貌、表面粗糙度、厚度等进行表征分析,确定了结构参数,并对安全起爆芯片性能进行了测试.结果表明MEMS平面开关实现了通断转换,可以提高安全起爆芯片的安全性.本研究为MEMS火工品安全性技术提供支撑.
作者：薛艳 刘云 任炜 任小明 刘兰
作者单位：陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室,陕西西安,710061北方特种能源集团有限公司,陕西西安,710061
母体文献：第六届纳米结构含能材料及其应用技术学术研讨会论文集
会议名称：第六届纳米结构含能材料及其应用技术学术研讨会
会议时间：2020年11月14日
会议地点：西安
主办单位：中国工程物理研究院,陕西应用物理化学研究所,南京理工大学
语种：chi
分类号：
关键词：武器装备 微机电火工品 安全起爆芯片 结构参数 性能测试
在线出版日期：2022年9月21日
基金项目：
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