文档名：基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置
为解决传统非接触式静电仪工作时振动或旋转部件裸露在外、无法在静电高危区域使用、无法测量运动人体带电情况等问题,本论文研制出基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置.该装置基于封装后的电场传感器芯片,具有无裸露可动部件、安全性高、环境适应性强等突出优点,满足粉尘浓度高、易燃油气浓度高等恶劣环境下的使用需求.试验结果表明,该装置测量范围为-30kV～30kV,分辨力优于50V,总不确定度优于3％.
作者：闻小龙 彭春荣 杨鹏飞 陈博 夏善红
作者单位：中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室;北京中科飞龙传感技术有限责任公司中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室
母体文献：ESD-S第五届静电防护与标准化国际研讨会论文集
会议名称：ESD-S第五届静电防护与标准化国际研讨会
会议时间：2016年11月16日
会议地点：西安
主办单位：中国标准化研究院,中国空间技术研究院
语种：chi
分类号：TM9U46
关键词：非接触式静电测量装置 微机械电子系统 电场传感器 工作参数
在线出版日期：2020年5月31日
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