文档名：厚膜光刻胶和阳离子光固化材料
随着MEMS技术的发展,开发出用于MEMS制造的厚膜光刻胶十分重要.阳离子光固化体系因其无氧干扰,聚合反应不易终止等特点,适合作为厚膜光刻胶的组成材料.本文介绍了目前已商品化的厚膜光刻胶,对其树脂结构及感光机理进行了概述,同时对适用于厚膜光刻胶的阳离子光固化材料进行了介绍.
作者：郭晔嘉邹应全庞玉莲
作者单位：北京师范大学化学学院,北京100875
母体文献：2015全国非银盐成像材料及光刻胶发展论坛论文集
会议名称：2015全国非银盐成像材料及光刻胶发展论坛
会议时间：2015年11月19日
会议地点：苏州
主办单位：中国感光学会
语种：chi
分类号：TQ3TN3
关键词：厚膜光刻胶 阳离子光固化材料 树脂结构 感光机理
在线出版日期：2017年12月4日
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