文档名：硅烷法棒状多晶硅工艺控制
本文从表观及硅粉、冷却系统、洁净及安全控制等方面进行了探讨，通过试验验证提出了这几方面的主要控制要点，基本满足棒状多晶硅的生长要求。硅烷法生产多晶硅具有高纯、高效、清洁的优点，具有很大发展潜力，也是目前多晶硅技术发展的主要方向之一。硅烷法棒状多晶硅工艺中，需兼顾品质、安全、能耗，目前规模化硅烷法多晶硅技术还处于探索阶段，需要行业相关企业、技改进一步探索优化，早日实现区熔级多晶硅的批量国产化。
作者：姜海明
作者单位：内蒙古神舟硅业有限责任公司
母体文献：第十三届全国太阳级硅及光伏发电研讨会论文集
会议名称：第十三届全国太阳级硅及光伏发电研讨会
会议时间：2017年11月16日
会议地点：徐州
主办单位：中国可再生能源学会,上海市太阳能学会
语种：chi
分类号：TQ4TF8
关键词：半导体材料 棒状多晶硅 硅烷法 工艺控制
在线出版日期：2018年10月31日
基金项目：
相似文献
相关博文
- 文件大小:
- 1.62 MB
- 下载次数:
- 60
-
高速下载
|
|
