表面化学分析深度剖析溅射深度测量
Surfacechemicalanalysis.DepthProfiling.Measurmentofsputtereddepth
摘要:本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。
标准编号：GB/T29557-2013
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2013年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2014年1月1日
关键词：化学分析和是,深度,测量,试验,溅射,表面,DEPTH,MEASUREMENTS,MEASUREMENT,MEASURING,EXAMINATION,REFRACTORYPRODUCTS,TESTING,TESTS,CRUDEOILS,DEPOSIT,bristles,TEST,TRIALS,SURFACES,FACES,SURFACE
GB/T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量.pdf
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