文档名：硅基集成锗PIN探测器的制备
硅基光互联中一个重要的组成部分就是高速的硅基探测器,而锗探测器具有与硅基COMS工艺兼容、响应波段覆盖通信波段、有着良好的电学性能等优势,成为目前制备硅基集成光电探测器的重要方案之一.利用分子束外延生长高质量Ge薄膜,制备了硅基集成锗PIN探测器,测试到了器件的IV曲线和光响应特性.
作者：宋金汶夏金松
作者单位：武汉光电国家实验室,华中科技大学,武汉
母体文献：第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会论文集
会议名称：第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会
会议时间：2017年5月25日
会议地点：厦门
主办单位：厦门大学,浙江大学
语种：chi
分类号：TN3TN9
关键词：硅基探测器 锗薄膜 分子束外延生长 曲线测试 光响应特性
在线出版日期：2020年6月22日
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