文档名：光学元件表面疵病标准板设计研制
为了实现光学元件表面疵病定量检测系统的校准,填补国内目前该类检测设备的校准能力的空白,开展了光学元件表面疵病标准板系统研制项目.项目中设计、制作了专用定标板,建立了不同放大倍率下光学元件表面疵病标准板定标数据库,为表面疵病的可靠的定量评价提供科研数据.
作者：冯晓璇 杨甬英 姜宏振 刘旭 陈波
作者单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州310027
母体文献：四川省电子学会电子测量与仪器专委会第十八届电子测试与测量技术专题学术年会论文集
会议名称：四川省电子学会电子测量与仪器专委会第十八届电子测试与测量技术专题学术年会
会议时间：2017年11月1日
会议地点：昆明
主办单位：四川省电子学会
语种：chi
分类号：TH7TG8
关键词：光学元件 表面疵病 定量检测 标准板设计
在线出版日期：2021年3月22日
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