文档名：工业硅粉制备氮化硅的研究
以工业硅粉为原料,通过直接氮化法制得氮化硅.采用XRD测试方法主要研究了氮化温度、氮化时间和添加剂(α-Si3N4)含量对氮化产物物相组成的影响.试验结果表明:工业硅粉较优的氮化条件为氮化温度1380℃;氮化时间2h;添加剂含量5％.在较优的氮化条件下,硅粉实现完全氮化,并且氮化产物中α-Si3N4与β-Si3N4质量的比值达到16.98.
作者：金星孔剑姜胜南魏冬卉崔晓华邢鹏飞
作者单位：东北大学冶金学院沈阳中国110189
母体文献：第26届全国铁合金学术研讨会论文集
会议名称：第26届全国铁合金学术研讨会
会议时间：2018年9月12日
会议地点：贵州
主办单位：中国金属学会
语种：chi
分类号：TN3TQ4
关键词：氮化硅 直接氮化法 工业硅粉 添加剂
在线出版日期：2022年3月9日
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