[化工] GBT 31058-2014 电子工业用气体四氟化硅

14 0

admin 发表于 2024-9-22 11:59 | 查看全部阅读模式

电子工业用气体四氟化硅
Gasesforelectronicindustry.Silicontetrafluoride

摘要:本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料,也是生产多晶硅的重要原料。分子式:SiF。相对分子质量:104.0786128(按2009年国际原子相对质量)。

标准编号：GB/T31058-2014
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2014年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2015年1月1日
关键词：

GB/T 31058-2014 电子工业用气体四氟化硅.pdf

2024-9-22 11:59 上传

GBT 31058-2014 电子工业用气体四氟化硅.pdf

文件大小:: 357.93 KB

下载次数:: 60

高速下载

气体, 电子工业

【温馨提示】您好！以下是下载说明，请您仔细阅读：
1、推荐使用360安全浏览器访问本站，选择您所需的PDF文档，点击页面下方“本地下载”按钮。
2、耐心等待两秒钟，系统将自动开始下载，本站文件均为高速下载。
3、下载完成后，请查看您浏览器的下载文件夹，找到对应的PDF文件。
4、使用PDF阅读器打开文档，开始阅读学习。
5、使用过程中遇到问题，请联系QQ客服。

本站提供的所有PDF文档、软件、资料等均为网友上传或网络收集，仅供学习和研究使用，不得用于任何商业用途。
本站尊重知识产权，若本站内容侵犯了您的权益，请及时通知我们，我们将尽快予以删除。

[化工] GBT 31058-2014 电子工业用气体四氟化硅

相关帖子

能源电力

化工

建筑工程

机械

电子信息

医药

科学

[化工] GBT 31058-2014 电子工业用气体 四氟化硅

相关帖子

能源电力

化工

建筑工程

机械

电子信息

医药

科学

[化工] GBT 31058-2014 电子工业用气体四氟化硅