GBT 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷

电子工业用气体八氟丙烷
Gasforelectronicindustry.Perfluoropropane

摘要:本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备，并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品，以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。分子式：CF。相对分子质量：188.017（按2011年国际相对原子质量）。

标准编号：GB/T31986-2015
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2015年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2016年1月1日
关键词：

GB/T 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷.pdf

2024-9-22 11:57 上传 GBT 31986-2015 电子工业用气体 八氟丙烷.pdf

文件大小:

396.84 KB

下载次数:

60

附件售价:

1 下载券 [赞助会员免费下载]

本地下载 立即购买