文档名：高铝硅酸盐玻璃在含氟混合酸刻蚀液中刻蚀速率的研究
对HF、H2SO4和HNO3混合酸中,高铝硅酸盐盖板玻璃的刻蚀速率的变化趋势进行了分析,并对刻蚀速率与混合酸中HF浓度的关系进行了研究.研究发现,在一定浓度的HF混合酸中,刻蚀一定厚度的高铝硅酸盐盖板玻璃,其刻蚀速率基本保持不变;同时发现,刻蚀速率与混合酸中HF浓度为非线性关系,在一定浓度范围内,刻蚀速率变化幅度微小.这一发现,对盖板玻璃行业中获得超薄盖板玻璃具有产业化指导意义.
作者：何根董俊威展贵鑫沈子涵
作者单位：四川旭虹光电科技有限公司,四川绵阳621000
母体文献：2016光电子玻璃及材料技术交流研讨会论文集
会议名称：2016光电子玻璃及材料技术交流研讨会
会议时间：2017年1月7日
会议地点：北京
主办单位：中国硅酸盐学会
语种：chi
分类号：TQ1X78
关键词：高铝硅酸盐玻璃 混合酸 氟含量 刻蚀速率
在线出版日期：2017年12月4日
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