文档名：磁流变抛光二次非球面工件位置对刀校正
近年来,磁流变抛光作为一种确定性加工方法已成为获得高精度非球面的重要手段.作者以回转对称二次抛物面为例,分析了磁流变抛光中使用抛光轮校正工件位置的理论方法,并通过实验在Φ230mm熔石英样件上验证对刀理论,分别在X方向和Y方向以少于3次的调整次数校正工件位置,实现了X方向、Y方向偏置量均低于0.009mm;采用磁流变抛光技术对工件进行了修形实验验证,加工后面形精度RMS由λ/7收敛至λ/40.实验结果表明:作者提出的非球面工件位置对刀校正方法简单、可靠,能够很好地对工件进行精确定位,利于高精度非球面磁流变抛光加工.
作者：张瑜张峰郭芮苏瑛张云龙许增奇王阜超
作者单位：西安应用光学研究所,陕西西安710065
母体文献：第三届军用光电技术发展论坛论文集
会议名称：第三届军用光电技术发展论坛
会议时间：2022年4月1日
会议地点：南京
主办单位：西安应用光学研究所
语种：chi
分类号：
关键词：非球面光学元件 磁流变抛光 对刀校正 面形精度
在线出版日期：2022年9月21日
基金项目：
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